Resumo
Este projeto visa ao design, modelamento, fabricação e teste de sistemas microeletromecânicos para RF (RF MEMS), para aplicações em circuitos reconfiguráveis na faixa de frequências de ondas milimétricas, acima de 30 GHz, utilizando pós-processamento para a liberação das camadas de interconexão (back-end) de uma tecnologia CMOS comercial. Neste projeto, pretende-se desenvolver dispositivo…