CV Lattes
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação (FEEC) (Instituição-sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
possui graduação em Engenharia Elétrica pela Universidade Estadual de Campinas (2008), mestrado em Engenharia Elétrica pela Universidade Estadual de Campinas (2011). Atualmente é bolsista de doutorado pleno no exterior, na Universidade Técnica de Delft, na Holanda. Possui experiência na área de circuitos integrados CMOS e BiCMOS, atuando principalmente no projeto de circuitos analógicos e de Radiofreqüência (RF). É especialista em Microeletrônica e participou do curso de formação de projetistas do Ministério da Ciência e Tecnologia, no programa CI-Brasil. (Fonte: Currículo Lattes)
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Este trabalho tem por objetivo a caracterização elétrica de filmes finos e ultra-finos de oxinitretos de silício (SiOxNy) e de alumínio (AlNxOy). Estes filmes apresentam maiores constantes dielétricas do que o dióxido de silício (SiO2), que é o dielétrico mais utilizado nas portas de dispositivos com estrutura Metal-Óxido-Semicondutor (MOS). Alta constante dielétrica (high K) permite que …
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