Resumo
O presente projeto visa à obtenção de diversos tipos de filmes finos empregando duas diferentes técnicas de Deposição de Vapores Químicos ("Chemical Vapour Deposition" - CVD): a estimulada por plasma ("Plasma-Enhanced CVD" - PECVD) e a do filamento aquecido ("Hot Filament CVD" - HFCVD). A primeira será utilizada na obtenção de filmes poliméricos contento Germânio (análogos estruturais dos…