CV Lattes
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Centro de Componentes Semicondutores (CCS) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Claudia Reyes Betanzo em auxílios à pesquisa e bolsas apoiadas pela FAPESP.
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O projeto tem como objetivo: a) Desenvolver um sistema de corrosão por plasma hídrido tipo RIE/ICP e desenvolver processo de corrosão de Si; b) Desenvolver processo e escrita direta em lâmina de Si com sistema de feixe de elétrons, usando o sistema ZBA-21 instalado no nosso laboratório; c) Desenvolver um processo de definição de linhas de Si-poli para porta de transitores MOS de dimensões…
| 1 | Bolsas no país concluídas |
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