Resumo
O grande interesse no estudo de filmes de carbono tipo diamante (a-C:H) é justificado por suas propriedades mecânicas e tribológicas. No entanto, o alto estresse interno do filme resulta em sua difícil adesão ao substrato metálico, que pode ser resolvido pela incorporação de nitrogênio no filme a-C: H, permitindo um filme formado com menor estresse interno. O objetivo deste trabalho é ava…