Resumo
Sendo o silício amorfo hidrogenado um material com características para aplicações em sistemas fotovoltaicos, transistores, sensores optoeletrônicos de imagem, circuitos integrados de películas finas e em reprografia e eletrografia, este projeto visa o estudo do desenvolvimento deste material através da conclusão da construção do novo reator do tipo PECVD no Laboratório de Microeletrônica…