Resumo
Sistemas microeletromecânicos ou "MEMS" em inglês são sistemas mecânicos projetados em escalas micrométricas. Os investimentos em pesquisa, aplicações industriais e interesse científico na área de "MEMS" têm crescido consideravelmente ultimamente no Brasil e no resto do mundo, o que tem impulsionado o desenvolvimento de técnicas de projeto e microfabricação de "MEMS"; contudo, embora a fa…