Sintetização de filmes de diamante assistido por jato de plasma gerado por uma descarga elétrica tipo arco em baixa pressão

Resumo

Este projeto de pesquisa compreende essencialmente o desenvolvimento da técnica CVD (Chemical Vapor Deposition), assistida por jato de plasma gerado através de uma descarga elétrica CC tipo arco em baixa pressão (ARC-JET), aplicada à sintetização de filmes de diamante. Serão estudados, através de diagnósticos apropriados, os fenômenos básicos envolvidos em cada etapa do processo, quais sejam: descarga elétrica em arco (troca de calor, desgaste dos eletrodos); jato de plasma (perfis de temperatura e densidade) e sintetização do filme de diamante (composição dos gases, temperatura do substrato, propriedades do filme). Os resultados desses estudos permitirão um melhor entendimento dos processos físicos envolvidos, possibilitando, assim, a otimização e o controle da qualidade do filme de diamante, principalmente no que se refere a morfologia, reprodutibilidade e taxa de deposição. (AU)