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Produção de Dispositivos Magnéticos Microscópicos por Litografia Ótica de Escrita Direta Baseada em Ótica de Campo Próximo

Processo: 08/09023-5
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
Vigência (Início): 01 de janeiro de 2009
Vigência (Término): 31 de dezembro de 2009
Área do conhecimento:Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
Pesquisador responsável:Antonio Domingues dos Santos
Beneficiário:Jeferson Tiago da Silva
Instituição-sede: Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Vinculado ao auxílio:05/57825-5 - Materiais magnéticos avançados e novas técnicas de caracterização, AP.TEM
Assunto(s):Magnetismo   Dispositivos magnéticos

Resumo

O objetivo principal deste projeto é o desenvolvimento de uma metodologia de litografia ótica de escrita direta baseada em ótica de campo próximo. Esta metodologia usará como ferramenta principal um microscópio ótico em campo próximo (SNOM) desenvolvido em nosso laboratório. Pretendemos explorar a resolução ótica (~100nm) deste equipamento visando produzir estruturas litografadas na escala (sub-)micrométrica. Para o processo de litografia, usaremos fotorresistes com sensibilidade no violeta e UV próximo.Como aplicação desta metodologia, pretendemos desenvolver sensores magnéticos baseados no fenômeno da magnetorresistência gigante (GMR).

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