Busca avançada
Ano de início
Entree

Nanolitografia por Impressão para Estudo de FinFETs

Processo: 09/05426-0
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado
Vigência (Início): 01 de julho de 2009
Vigência (Término): 31 de dezembro de 2012
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica
Pesquisador responsável:João Antonio Martino
Beneficiário:Mariana Pojar de Melo
Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Vinculado ao auxílio:08/05792-4 - Projeto, fabricação e caracterização de transistores FinFETs, AP.TEM
Assunto(s):Nanoeletrônica   Filmes finos

Resumo

Neste projeto de pesquisa pretende-se desenvolver processos de nanolitografia que utilizem a técnica de nanoimpressão para a construção de FinFETs. Os FinFETs têm sido apontados como sendo parte das novas gerações tecnológicas de transistores que permitirão que o comprimento de canal (distância entre os terminais fonte e dreno) de um transistor convencional passe de 90nm para a escala de 10nm na próxima década. Essa inovação tecnológica permitirá à indústira de semicondutores estender a lei de Moore pelo menos por mais 10 anos e produzir circuitos com mais de 1 bilhão de transistores integrados. A construção e posterior replicação de nanodispositivos requerem que técnicas acessíveis de alta resolução litográfica sejam desenvolvidas. A litografia por nanoimpressão é uma técnica muito recente (cerca de 10 anos) com resolução nanométrica e baixo custo que permite a fabricação de nanoestruturas para pesquisa em áreas tão diversas quanto nanoeletrônica, nanofluídica, biochips, nanoóptica, NEMS, dentre outras. A nanoimpressão baseia-se na transferência dos traçados de um nanomolde, ou nanocarimbo, para a superfície da amostra, empregando-se processos de estampagem. Este projeto visa desenvolver tanto o nanocarimbro, empregando-se técnicas de litografia por feixe de elétrons, como o processo de nanoestampagem para a construção do dispositivo requerido.

Matéria(s) publicada(s) na Agência FAPESP sobre a bolsa:
Matéria(s) publicada(s) em Outras Mídias (0 total):
Mais itensMenos itens
VEICULO: TITULO (DATA)
VEICULO: TITULO (DATA)