| Processo: | 23/00417-0 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Iniciação Científica |
| Vigência (Início): | 01 de fevereiro de 2023 |
| Vigência (Término): | 31 de maio de 2025 |
| Área do conhecimento: | Ciências Exatas e da Terra - Física - Física Geral |
| Pesquisador responsável: | Felippe Alexandre Silva Barbosa |
| Beneficiário: | Gustavo Correa |
| Instituição Sede: | Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil |
| Vinculado ao auxílio: | 18/03474-7 - Estados não-clássicos da luz em chips, AP.JP |
| Assunto(s): | Fotônica integrada Microfabricação Óptica quântica |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Fotônica Integrada | Microfabricação | Ótica Quântica | microfabricação |
Resumo A corrosão por plasma é parte essencial do processo de microfabricação usando filmes finos, pois permite a corrosão em uma direção preferencial. Vamos usar corrosão por plasma RIE e ICP para produzir guias de onda e cavidades óticas em filmes finos de nitreto de silício e niobato de lítio. | |
| Matéria(s) publicada(s) na Agência FAPESP sobre a bolsa: | |
| Mais itensMenos itens | |
| TITULO | |
| Matéria(s) publicada(s) em Outras Mídias ( ): | |
| Mais itensMenos itens | |
| VEICULO: TITULO (DATA) | |
| VEICULO: TITULO (DATA) | |