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Otimização de RF MEMS fabricados em tecnologia CMOS para aplicações em ondas milimétricas

Processo: 14/18011-1
Modalidade de apoio:Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
Vigência (Início): 01 de novembro de 2014
Vigência (Término): 31 de agosto de 2015
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica
Pesquisador responsável:Gustavo Pamplona Rehder
Beneficiário:Otavio Augusto Dantas Molitor
Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Vinculado ao auxílio:11/18167-3 - RF MEMS em ondas milimétricas utilizando processo CMOS comercial, AP.JP
Assunto(s):Ondas milimétricas   Radiofrequência   CMOS
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Defasadores | ondas milimétricas | Otimização mecânica | RF MEMS (Radio Frequency Microelectromechanical System) | Rf Mems

Resumo

O presente trabalho pretende melhorar a performance dos defasadores em desenvolvimento no LME através da otimização mecânica destes RF MEMS. Para isso, a posição dos stoppers será variada para otimizar o deslocamento das tiras da camada de blindagem. Depois, o funcionamento RF dos dispositivos será otimizado e novos dispositivos serão enviados para foundry para fabricação. O pós-processamento será feito no LME e as medidas elétricas no IMEP-LAHC (França).

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