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Introdução às técnicas de microfabricação

Processo: 13/19799-9
Modalidade de apoio:Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
Vigência (Início): 01 de novembro de 2013
Vigência (Término): 31 de agosto de 2014
Área do conhecimento:Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
Pesquisador responsável:Gustavo Silva Wiederhecker
Beneficiário:Laís Fujii dos Santos
Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
Vinculado ao auxílio:12/17765-7 - Nanofotônica em semicondutores do Grupo IV e III-V, AP.JP
Assunto(s):Nanofotônica   Microfabricação   Fotônica   Litografia   Optomecânica
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Litografia | Microfabricação | nanofotônica | Optomecânica | fotônica

Resumo

A fabricação de microestruturas consiste em gravar um padrão litográfico sobre um substrato, utilizando máscaras ópticas ou feixe de elétrons. Neste estágio de iniciação científica a candidata irá familiarizar-se com técnicas de litografia eletrônica a fim de fabricar microcavidades ópticas. Também caracterizaremos estas microcavidades experimentalmente, utilizando técnicas já dominadas pela aluna.

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