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Modelamento e fabricação de chaves RF MEMS de baixo custo

Processo: 12/18754-9
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
Vigência (Início): 01 de outubro de 2012
Vigência (Término): 30 de setembro de 2013
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica
Pesquisador responsável:Gustavo Pamplona Rehder
Beneficiário:Flávio Renê Miranda Pavan
Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Vinculado ao auxílio:11/18167-3 - RF MEMS em ondas milimétricas utilizando processo CMOS comercial, AP.JP
Assunto(s):Microeletrônica   Medidas elétricas   Sistemas microeletromecânicos   Baixo custo   Método dos elementos finitos

Resumo

O seguinte projeto de iniciação científica envolve o modelamento e a fabricação de chaves micro-eletro-mecânicas (MEMS) para aplicação em rádio-frequências (RF), para integração em filtros patch de bandas selecionáveis. O objetivo é dar continuidade a estudos prévios em que este tipo de dispositivos foi projetado e simulado e sua fabricação iniciada. Este projeto se insere no contexto do projeto Jovem Pesquisador FAPESP (Processo No 2011/18167-3) que tem entre seus objetivos o desenvolvimento de sistemas micro-eletro-mecânicos (RF MEMS) para aplicações em ondas milimétricas. Este trabalho será dividido em duas frentes de trabalho que serão desenvolvidas simultaneamente. Em uma delas, as chaves MEMS serão modeladas e seus comportamentos eletromecânico e RF serão simulados. A outra será direcionada à fabricação e teste das chaves. Inicialmente será feito um modelo de elementos concentrados (massa-mola-amortecedor) que permitirá um melhor entendimento do funcionamento da chave RF MEMS. Visando aprimorar o modelo de elementos concentrados, será feito um modelo de elementos finitos e os resultados obtidos serão comparados a medidas elétricas dos dispositivos que serão fabricados. Finalmente, as chaves RF MEMS serão incorporadas ao filtro desenvolvido e seu comportamento será medido. Embora se trate de um trabalho de iniciação científica, a pesquisa proposta tem aspectos originais e em função disso são esperados resultados relevantes para a área em questão, com possibilidades concretas de publicação, inclusive em congressos ou revistas especializadas de alto nível.(AU)

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