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Modernização da sala de PECVD e de caracterização de novos materiais

Resumo

O projeto objetiva a modernização, melhora na segurança e adequação ás atuais necessidades das salas de PECVD e de caracterização de novos materiais do laboratório de microeletrônica do Departamento de Engenharia Eletrônica da Escola Politécnica da USP. (AU)

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